等離子體光譜在線監(jiān)控系統(tǒng)

等離子體光譜分析是應(yīng)用廣泛的一種方法。利用物理學(xué)和化學(xué)實驗所積累的物質(zhì)發(fā)光光譜數(shù)據(jù)，進行理論分析，能確定識別等離子體中發(fā)光物種(特征光譜)、計算電子溫度和激發(fā)溫度、測量某些物種的密度、電離度、電子密度、電子能量分布等性質(zhì)。

等離子輻射光譜過程中都伴隨著電子發(fā)射、電離，即等離子體的光和熱輻射等過程，以激光焊接為例對分析焊接技術(shù)的物理狀態(tài)和過程，探究焊接機理、改進工藝方法和改善焊接質(zhì)量都具有非常重要的意義。等離子體光譜的優(yōu)點：1、無介入性，使用間接測量方式，對焊接電弧沒有擾2、信息量豐富，特征譜線的強度、寬度及形態(tài)可以反映出電弧電子密度、溫度、電導(dǎo)率等信息3、靈敏度高、響應(yīng)速度快、抗干擾能力強 。

應(yīng)用：

l                      受控?zé)岷司圩儯ㄍ锌R克）

l                      空間科學(xué)（等離子體推進技術(shù)）

l                      生化處理（等離子體滅菌）

l                      微電子與信息產(chǎn)業(yè)（半導(dǎo)體材料蝕刻）

l                      材料合成與處理（等離子體沉積和蝕刻）

l                      國防（等離子體隱身技術(shù)）

l                      高新技術(shù)應(yīng)用（LIBS技術(shù)）

特點：

l                      實時測量等離子體光譜，并計算顯示電子溫度和電子密度； 

l                      采用四維混合調(diào)節(jié)位移臺，實現(xiàn)空間點位等離子體測量；

l                      采用多通道光譜儀，實現(xiàn)高分辨率、寬波長范圍的光譜測量；

l                      軟件實現(xiàn)光譜儀與焊槍頭的聯(lián)動控制；

l                      集成元素數(shù)據(jù)庫。

等離子體光譜在線監(jiān)控系統(tǒng)主要技術(shù)指標：